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和缺陷一樣，量測也是晶圓制造良率管理的重要組成部分。缺陷是通過對異常問題的監控來實現良率的保障，而量測是對生產結果的及時檢查來確保所有的生產步驟結果都符合預期來實現最終的產品有效。就如同在生產一個機械零件，在加工過程中需要不斷地進行用游標卡尺進行測量，來確定每道工序都正確無誤。

晶圓制造是非常精密復雜的過程，任何細微的變化，就會帶來毀滅性的打擊，因此量測和缺陷檢測一樣，也是在制造過程中引入多個量測站點，及時對生產的關鍵指標進行監控，在指標緩慢偏離正常指標前提前識別，進行糾正，確保生產的晶圓的良率最大化。要達成這個目標，最佳的解決方案就是在生產過程中對所有在制品進行量測，然而在量測過程中，生產設備必須要等待反饋結果，確保沒有問題后才能繼續生產。但是一方面量測設備的工作效率同樣無法與生產設備相比，另外在量測過程中，生產需要進行一定范圍的停滯，將造成生產周期的大大延長，這會影響客戶的最終上市時間，是無法被接受的。以CPU 為例，AMD 和INTEL誰能快速推出5nm的晶圓，就能快速搶占市場，擊垮對手。

目前普遍的做法是對產線產品進行抽檢，在良率問題全覆蓋以及生產周期間尋找平衡點。同缺陷檢測一樣，虛擬量測的出現完美地解決了良率和生產周期無法兼顧的問題。

虛擬量測（Virtual Metrology ）產品利用已收集的相關參數，比如設備的傳感器參數或其它參數，與所關心的測量結果進行AI 建模，此模型可以在之后根據設備傳感器參數進行量測值預測，無需到特有的設備進行實際的測量。

虛擬量測（Virtual Metrology ）產品主要功能包括：設備參數獲取解析、預測模型庫，模型修正等功能模塊。

目前國內外并沒有成熟的晶圓行業虛擬量測(Virtual Metrology)產品，眾壹云的虛擬量測(Virtual Metrology)產品具備以下幾個特點：

1、基于成熟的晶圓行業生產大數據平臺實現，有效保證虛擬量測(Virtual Metrology)模型的建模成功率。目前我司在國內頭部晶圓廠內實施的建模成功率約為50%。

2、基于成熟的晶圓行業模型運行管理平臺實現，可以快速有效的將成熟的模型導入生產現場并產生效益。